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VCSEL,垂直共振腔表面放射激光(Vertical Cavity Surface Emitting Laser, VCSEL),简称面射型激光。以砷化镓半导体材料为基础研制,有别于LED(发光二极管)和LD(Laser Diode,激光二极管)等其他光源,具有体积小、圆形输出光斑、单纵模输出、阈值电流小、价格低廉、易集成为大面积阵列等优点,广泛应用与光通信、光互连、光存储等领域。
VCSEL的关键工艺过程大致是,外延:利用MOCVD(有机气相外延沉积)与MBE(分子束外延)技术;光刻:决定芯片图形与尺寸,ICP-RIE(电感耦合反应离子刻蚀)技术刻蚀出发光平台(Mesa);氧化:让谐振腔定义出最佳的VCSEL光电特性;钝化:绝缘工艺让暴露的半导体材料不受空气与水汽影响可靠度;研磨与切割:变成一颗颗芯片,再进行测试与出货给封装厂,结构上跟红黄LED芯片类似,是上下电极垂直结构。
确实如你所说,VCSEL在被苹果iPhone X运用到了3D传感之后,业内对于VCSEL的布局也多了起来,主要大家都意识到未来生产很多需要传感器的设施与设备时,配备VCSEL绝对会是最好的选择。因为在垂直于衬底的方向上可并行排列着多个激光器,所以非常适合应用在并行光传输以及并行光互连等领域,VCSEL可以用来在光纤网络中高速传输数据其相比传统电缆系统可以以更快的速度传输更大的数据量。速度达到每秒40G,是这一领域美国目前的最高速度纪录。由于其体积很小,这种VCSEL装置还拥有很高的能源效率,相比传统的电线要节能100倍。但与此同时其传输数据的精确性也非常高。
VCSEL在光通信领域的应用前景十分可观,而现在iPhone X将该技术运用到到了3D传感的方面。单就以3D感应市场来说,每年全世界消费10多亿部智能手机,如果每部手机嵌入2-3颗VCSEL激光器件,就是二三十亿颗的市场规模。