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TES MOCVD HESTIA-2G
TES MOCVD HESTIA-2G
产品名称:TES MOCVD HESTIA-2G
产品型号:TES MOCVD HESTIA-2G
产品波长:
工作电流:
产品功率:
产品封装:
产品应用
-深紫外LED外延生长 高质量的AlN、AlGaN生长
产品规格
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产品详情
- 应用
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-深紫外LED外延生长
高质量的AlN、AlGaN生长
- 特征
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反应器型式:卧式
加热方式:射频感应
马克斯:1600℃的温度。
晶圆承载能力:3x2英寸或1x4英寸